半導體行業的生產過程對水的質量有著很高的要求。無論是用于清洗硅片、化學試劑配制,還是用于冷卻系統和制造過程中的其他環節,水質的純凈度都直接影響到最終產品的性能和質量。
一、半導體行業對水質的要求
超純水要求
在半導體生產過程中,水需要去除絕大部分的溶解鹽、微粒和有機物,達到很高的純凈度,以免影響硅片表面的清洗效果和產品的性能。特別是在光刻、化學氣相沉積(CVD)等工藝中,水質的純凈度至關重要。
無污染、無離子
半導體行業的生產過程要求水中不能含有任何可能影響產品性能的離子或雜質。高純水不僅能夠避免設備結垢,還能保證產品的電氣性能和化學穩定性。
連續穩定供水
半導體生產需要大量的高純水,且水質需要在整個生產過程中保持穩定。任何水質的波動都可能導致生產中斷或產品不合格,因此需要高效、穩定的水處理設備。
二、EDI純水設備的優勢
高效除鹽,提供超純水
EDI設備通過電場和離子交換技術能夠高效去除水中的離子、金屬離子和其他溶解物質,確保水質達到半導體生產的要求,提供符合超純水標準的水源。
無化學藥劑,環保設計
傳統水處理方法通常需要酸堿藥劑進行再生,然而EDI設備不需要化學藥劑,而是利用電場原理進行樹脂再生,減少了化學廢液的產生,符合半導體行業對環保和水質安全的嚴格要求。
穩定性高,保證生產連續性
EDI設備提供穩定的水質和連續供水,確保生產過程中的水質不受波動影響,避免因水質問題導致的生產停滯或產品質量問題。
節能高效,降低運營成本
EDI設備具有較低的能耗和較高的水回收率,能夠在滿足生產需求的同時,降低能源消耗和運營成本,提高資源利用效率。
三、EDI純水設備在半導體行業的典型應用
硅片清洗
半導體生產中的硅片清洗是非常重要的步驟,任何微小的雜質或污染都會影響芯片的質量。EDI純水設備提供的高純水能夠確保硅片表面無污染物,保證清洗效果和后續工藝的順利進行。
化學試劑配制
在半導體制造過程中,化學溶液的配制要求水的純凈度J高。EDI純水能夠確保配制出的溶液符合標準,避免水中雜質影響化學反應或產品質量。
光刻工藝
光刻工藝要求使用超純水來清洗和處理光掩模和晶圓表面,EDI設備提供的超純水能夠滿足這一要求,確保光刻過程的精度和效果。
冷卻水系統
半導體生產中大量使用水進行冷卻。EDI設備能夠提供純凈的水源,減少冷卻水系統中的結垢、腐蝕現象,保障冷卻系統的高效運行。
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